10% chegirma bering
Maslahat bering ushbu kitobni do'stingiz sotib olganidan 9 570,32 soʻm oling.
Hajm 157 sahifa
2008 yil
В учебном пособии рассматриваются закономерности изменения параметров тонкопленочных гетерокомпозиций материалов электронной техники при воздействии электронных, ионных потоков и низкотемпературной плазмы для микро- и наноразмерных устройств с улучшенными характеристиками. Цель данного пособия – формирование современных представлений и достижений в области микро- и наноиндустрии.