Kitoblar
texnik adabiyotlar
А. И. Мочалов
📚 Процессы плазменного травления в микро– и нанотехнологиях. Учебное пособие

Faqat Litresda o'qing

Kitobni fayl sifatida yuklab bo'lmaydi, lekin bizning ilovamizda yoki veb-saytda onlayn o'qilishi mumkin.

matn

PDF

Hajm 285 sahifalar

2013 yil

12+

Процессы плазменного травления в микро– и нанотехнологиях. Учебное пособие

PDF

Izoh qoldirish

Faqat Litresda o'qing

Kitobni fayl sifatida yuklab bo'lmaydi, lekin bizning ilovamizda yoki veb-saytda onlayn o'qilishi mumkin.

Нет в продаже

Mualliflar

А. И. Мочалов

Е. В. Данилкин

Kitob haqida

В свете современного развития нанотехнологии и микромеханики рассмотрены процессы и системы вакуумно-плазменного травления, находящие широкое применение в производстве современных ультрабольших интегральных схем, изделий микроэлектромеханических систем и наносистем. Проанализированы способы обеспечения вакуумно-технических требований к проведению этих процессов, приведены методы контроля и диагностики, позволяющие достаточно глубоко понять характер протекающих процессов с целью соответствующей оптимизации технологии и оборудования.Для студентов вузов, изучающих процессы микро– и наноэлектроники, а также аспирантов, инженеров и научных работников, занимающихся вопросами технологии интегральных схем и микромеханики.

Janrlar va teglar

Mikroelektronika Mikromexanika Nanotexnologiya Texnik adabiyotlar

Izoh qoldiring

Kirish, kitobni baholash va sharh qoldirish

Kitob tavsifi

Для студентов вузов, изучающих процессы микро– и наноэлектроники, а также аспирантов, инженеров и научных работников, занимающихся вопросами технологии интегральных схем и микромеханики.

Kitob А. И. Мочалова, Е. В. Данилкина va boshqalar «Процессы плазменного травления в микро– и нанотехнологиях. Учебное пособие» — veb-saytda onlayn o'qing. Fikr va sharhlar qoldiring, sevimlilarga ovoz bering.

Yosh cheklamasi:

12+

Litresda chiqarilgan sana:

31 iyul 2014

Yozilgan sana:

2013

Hajm:

285 Sahifa

ISBN:

978-5-9963-2129-2

Umumiy o'lcham:

5.2 МБ