10% chegirma bering
Maslahat bering ushbu kitobni do'stingiz sotib olganidan 2 529,16 soʻm oling.
matnPDFHajm 92 sahifalar
2020 yil
Формирование функциональных слоев
25 291,56 soʻm
Kitob haqida
Дано описание основных физических явлений при воздействии ускоренных потоков электронов, ионов и газоразрядной плазмы на поверхность обрабатываемых изделий. Рассмотрены ключевые операции изготовления микро- и наноструктур: нанесение тонких пленок в вакууме, вакуумно-плазменное травление и ионная имплантация. Акцентировано внимание на взаимосвязи между характеристиками технологических операций и показателями качества получаемых микро- и наноструктур. Приведены физико-химические модели расчета основных режимов элионной обработки. Для студентов, обучающихся по направлениям «Наноинженерия» и «Электроника и наноэлектроника».
Janrlar va teglar
Izoh qoldiring
Kirish, kitobni baholash va sharh qoldirish
Kitob «Формирование функциональных слоев» — veb-saytda onlayn o'qing. Fikr va sharhlar qoldiring, sevimlilarga ovoz bering.
Yosh cheklamasi:
0+Litresda chiqarilgan sana:
27 iyun 2023Yozilgan sana:
2020Hajm:
92 Sahifa ISBN:
978-5-7038-5350-4Umumiy o'lcham:
11 МБUmumiy sahifalar soni :
92Mualliflik huquqi egasi:
МГТУ им. Н.Э. Баумана (национальный исследовательский университет)
