Основной контент книги Процессы и оборудование микротехнологии. Модули 1 и 2
matnPDF
Hajm 125 sahifalar
2018 yil
18 774,45 s`om
10% chegirma bering
Maslahat bering ushbu kitobni do'stingiz sotib olganidan 1 877,45 soʻm oling.
Kitob haqida
Дано описание общей последовательности процессов микротехнологии на примерах производства интегральных микросхем и кремниевого микродатчика давления. Рассмотрены основные этапы получения кремниевых монокристаллических пластин, ключевые операции микротехнологии – изготовление кремниевых пластин, оксидирование. Акцентировано внимание на взаимосвязи между свойствами материалов, структуры, устройством и электрическими характеристиками микроструктур. Рассмотрены физикохимические модели и методы анализа качества технологических процессов микротехнологии. Для студентов МГТУ им. Н. Э. Баумана, обучающихся по направлениям «Электроника и наноэлектроника» и «Наноинженерия».
Izoh qoldiring
Kirish, kitobni baholash va sharh qoldirish
Kitob «Процессы и оборудование микротехнологии. Модули 1 и 2» — veb-saytda onlayn o'qing. Fikr va sharhlar qoldiring, sevimlilarga ovoz bering.
Yosh cheklamasi:
0+Litresda chiqarilgan sana:
21 fevral 2024Yozilgan sana:
2018Hajm:
125 Sahifa ISBN:
978-5-7038-4864-7Umumiy o'lcham:
6.0 МБUmumiy sahifalar soni :
125Mualliflik huquqi egasi:
МГТУ им. Н.Э. Баумана (национальный исследовательский университет)