10% chegirma bering
Maslahat bering ushbu kitobni do'stingiz sotib olganidan 1 811,55 soʻm oling.
Основной контент книги Контактная фотолитография и травление тонкопленочных структур. Практикум
Matn PDF
Hajm 45 sahifalar
2020 yil
Контактная фотолитография и травление тонкопленочных структур. Практикум
18 115,49 s`om
Kitob haqida
Рассмотрен процесс фотолитографии. Изложено описание процедур проведения экспериментов по определению разрешающей способности операций фотолитографии и жидкостного травления тонкопленочных медных структур. Представлена методика обработки полученных результатов травления и выявления на их основе бокового подтрава токопроводящих структур и неравномерности тонкопленочного покрытия по площади заготовки.
Для студентов, изучающих дисциплины «Технология и оборудование микро- и наноэлектроники», «Процессы и оборудование микротехнологии».
Kirish, kitobni baholash va sharh qoldirish
Kitob Ю. С. Бобровой «Контактная фотолитография и травление тонкопленочных структур. Практикум» — veb-saytda onlayn o'qing. Fikr va sharhlar qoldiring, sevimlilarga ovoz bering.
Yosh cheklamasi:
0+Litresda chiqarilgan sana:
27 iyun 2023Yozilgan sana:
2020Hajm:
45 Sahifa ISBN:
978-5-7038-5369-6Umumiy o'lcham:
1.5 МБUmumiy sahifalar soni :
45Mualliflik huquqi egasi:
МГТУ им. Н.Э. Баумана (национальный исследовательский университет)
