Faqat Litresda o'qing

Kitobni fayl sifatida yuklab bo'lmaydi, lekin bizning ilovamizda yoki veb-saytda onlayn o'qilishi mumkin.

Основной контент книги Контактная фотолитография и травление тонкопленочных структур. Практикум
Контактная фотолитография и травление тонкопленочных структур. Практикум
ТекстmatnPDF

Hajm 45 sahifalar

2020 yil

0+

Контактная фотолитография и травление тонкопленочных структур. Практикум

Faqat Litresda o'qing

Kitobni fayl sifatida yuklab bo'lmaydi, lekin bizning ilovamizda yoki veb-saytda onlayn o'qilishi mumkin.

18 388,46 s`om
10% chegirma bering
Maslahat bering ushbu kitobni do'stingiz sotib olganidan 1 838,85 soʻm oling.

Kitob haqida

Рассмотрен процесс фотолитографии. Изложено описание процедур проведения экспериментов по определению разрешающей способности операций фотолитографии и жидкостного травления тонкопленочных медных структур. Представлена методика обработки полученных результатов травления и выявления на их основе бокового подтрава токопроводящих структур и неравномерности тонкопленочного покрытия по площади заготовки.

Для студентов, изучающих дисциплины «Технология и оборудование микро- и наноэлектроники», «Процессы и оборудование микротехнологии».

Izoh qoldiring

Kirish, kitobni baholash va sharh qoldirish
Kitob Ю. С. Бобровой «Контактная фотолитография и травление тонкопленочных структур. Практикум» — veb-saytda onlayn o'qing. Fikr va sharhlar qoldiring, sevimlilarga ovoz bering.
Yosh cheklamasi:
0+
Litresda chiqarilgan sana:
27 iyun 2023
Yozilgan sana:
2020
Hajm:
45 Sahifa
ISBN:
978-5-7038-5369-6
Umumiy o'lcham:
1.5 МБ
Umumiy sahifalar soni :
45
Mualliflik huquqi egasi:
МГТУ им. Н.Э. Баумана (национальный исследовательский университет)

Ushbu kitob bilan o'qiladi