10% chegirma bering
Maslahat bering ushbu kitobni do'stingiz sotib olganidan 1 484,47 soʻm oling.
Hajm 69 sahifalar
2013 yil
Рассмотрены основные технологические процессы производства элементов микросистемной техники с точки зрения физических явлений. Обобщены результаты, полученные при выращивании монокристаллов, а также в процессах диффузии, имплантации, литографии и др. Для студентов МГТУ им. Н.Э. Баумана, изучающих курс «Микросистемная техника».