Основной контент книги Ионно-плазменные процессы в тонкопленочной технологии
Matn PDF

Kitob davomiyligi 545 sahifa

2009 yil

0+

Ионно-плазменные процессы в тонкопленочной технологии

63 778,77 s`om
10% chegirma bering
Maslahat bering ushbu kitobni do'stingiz sotib olganidan 6 377,88 soʻm oling.

Kitob haqida

Настоящая книга представляет собой подробное справочное руководство по основным вакуумным плазмохимическим процессам в тонкопленочной технологии – реактивному магнетронному нанесению тонких пленок и ионно-плазменному травлению. В ней обобщено современное состояние этих процессов.

Книга содержит подробное описание магнетронных напылительных установок и плазмохимических установок для травления тонких пленок. Рассмотрены технологические особенности их использования. Описаны способы управления процессами реактивного нанесения тонких пленок и использования среднечастотных импульсных источников питания. Показаны технологические особенности получения тонких пленок тройных химических соединений методом реактивного магнетронного сораспыления. Описана структура получаемых пленок и ее зависимость от параметров процесса нанесения. Приведены принципы конструирования источника высокочастотного разряда высокой плотности для ионного или плазмохимического прецизионного травления тонких пленок, а также его использования для стимулированного плазмой осаждения тонких пленок.

Книга рассчитана на специалистов, занимающихся исследованием, разработкой и изготовлением различных изделий электронной техники и нанотехнологии, совершенствованием технологии их производства и изготовлением специализированного оборудования. Она также будет полезна в качестве учебного пособия для студентов старших курсов и аспирантов соответствующих специализаций.

Kiring, kitobni baholash va sharh qoldirish uchun
Kitob Л. А. Сейдман, Е. В. Берлина «Ионно-плазменные процессы в тонкопленочной технологии» - pdf-ga yuklab oling yoki internetda o'qing. Sharhlar va fikr-mulohazalarni qoldiring, o'zingiz yoqtirganlarga ovoz bering.
Yosh cheklamasi:
0+
Litresda chiqarilgan sana:
06 fevral 2019
Yozilgan sana:
2009
Hajm:
545 Sahifa
ISBN:
978-5-94836-222-9
Umumiy o'lcham:
7.0 МБ
Umumiy sahifalar soni :
545
Mualliflik huquqi egasi:
Техносфера
Yuklab olish formati:
Matn, audio format mavjud
Средний рейтинг 4,8 на основе 13 оценок
Matn, audio format mavjud
Средний рейтинг 4,8 на основе 6 оценок
Matn
Средний рейтинг 5 на основе 2 оценок
Matn PDF
Средний рейтинг 0 на основе 0 оценок
Matn
Средний рейтинг 5 на основе 3 оценок
Matn
Средний рейтинг 4,8 на основе 12 оценок