Основной контент книги Процессы микро- и нанотехнологии. Ионно-плазменные процессы
matnPDF
Hajm 142 sahifalar
2007 yil
Процессы микро- и нанотехнологии. Ионно-плазменные процессы
68 620,09 s`om
10% chegirma bering
Maslahat bering ushbu kitobni do'stingiz sotib olganidan 6 862,01 soʻm oling.
Kitob haqida
В нем рассматриваются основы физики взаимодействия ускоренных низкоэнергетических ионов с твердым телом, практические возможности использования эффектов ионного воздействия для получения и травления микро- и наноразмерных пленочных гетерокомпозиций. Приводится методика расчета параметров различных технологических ионно-плазменных процессов обработки тонких пленок и покрытий. Дается методика определения экспериментальных параметров процессов осаждения и травления на реальных промышленных установках.
Janrlar va teglar
Izoh qoldiring
Kirish, kitobni baholash va sharh qoldirish
Kitob Аскера Кушхова, Геннадия Кузнецова va boshqalar «Процессы микро- и нанотехнологии. Ионно-плазменные процессы» — veb-saytda onlayn o'qing. Fikr va sharhlar qoldiring, sevimlilarga ovoz bering.
Yosh cheklamasi:
0+Litresda chiqarilgan sana:
29 mart 2018Yozilgan sana:
2007Hajm:
142 Sahifa Umumiy o'lcham:
18 МБUmumiy sahifalar soni :
142Mualliflik huquqi egasi:
МИСиС