Основной контент книги Процессы плазменного травления в микро– и нанотехнологиях. Учебное пособие
Matn PDF
Hajm 285 sahifa
2013 yil
Процессы плазменного травления в микро– и нанотехнологиях. Учебное пособие
Seriyaga kiradi «Нанотехнологии»
Sotuvda yo'q
Kitob haqida
В свете современного развития нанотехнологии и микромеханики рассмотрены процессы и системы вакуумно-плазменного травления, находящие широкое применение в производстве современных ультрабольших интегральных схем, изделий микроэлектромеханических систем и наносистем. Проанализированы способы обеспечения вакуумно-технических требований к проведению этих процессов, приведены методы контроля и диагностики, позволяющие достаточно глубоко понять характер протекающих процессов с целью соответствующей оптимизации технологии и оборудования.
Для студентов вузов, изучающих процессы микро– и наноэлектроники, а также аспирантов, инженеров и научных работников, занимающихся вопросами технологии интегральных схем и микромеханики.
Janrlar va teglar
seriyasiga kiradi "Нанотехнологии"
Kiring, kitobni baholash va sharh qoldirish uchun
Kitob А. И. Мочалова, Е. В. Данилкина va boshqalar «Процессы плазменного травления в микро– и нанотехнологиях. Учебное пособие» — veb-saytda onlayn o'qing. Fikr va sharhlar qoldiring, sevimlilarga ovoz bering.
Yosh cheklamasi:
12+Litresda chiqarilgan sana:
31 iyul 2014Yozilgan sana:
2013Hajm:
285 Sahifa ISBN:
978-5-9963-2129-2Umumiy o'lcham:
5.2 МБUmumiy sahifalar soni :
285Mualliflik huquqi egasi:
Лаборатория знаний