Читайте только на Литрес

Kitobni fayl sifatida yuklab bo'lmaydi, lekin bizning ilovamizda yoki veb-saytda onlayn o'qilishi mumkin.

Основной контент книги Процессы плазменного травления в микро– и нанотехнологиях. Учебное пособие
Matn PDF

Kitob davomiyligi 285 sahifa

2013 yil

12+

Процессы плазменного травления в микро– и нанотехнологиях. Учебное пособие

Читайте только на Литрес

Kitobni fayl sifatida yuklab bo'lmaydi, lekin bizning ilovamizda yoki veb-saytda onlayn o'qilishi mumkin.

Sotuvda yo'q

Kitob haqida

В свете современного развития нанотехнологии и микромеханики рассмотрены процессы и системы вакуумно-плазменного травления, находящие широкое применение в производстве современных ультрабольших интегральных схем, изделий микроэлектромеханических систем и наносистем. Проанализированы способы обеспечения вакуумно-технических требований к проведению этих процессов, приведены методы контроля и диагностики, позволяющие достаточно глубоко понять характер протекающих процессов с целью соответствующей оптимизации технологии и оборудования.

Для студентов вузов, изучающих процессы микро– и наноэлектроники, а также аспирантов, инженеров и научных работников, занимающихся вопросами технологии интегральных схем и микромеханики.

Kiring, kitobni baholash va sharh qoldirish uchun
Kitob А. И. Мочалова, Е. В. Данилкина va boshqalar «Процессы плазменного травления в микро– и нанотехнологиях. Учебное пособие» — veb-saytda onlayn o'qing. Fikr va sharhlar qoldiring, sevimlilarga ovoz bering.
Yosh cheklamasi:
12+
Litresda chiqarilgan sana:
31 iyul 2014
Yozilgan sana:
2013
Hajm:
285 Sahifa
ISBN:
978-5-9963-2129-2
Umumiy o'lcham:
5.2 МБ
Umumiy sahifalar soni :
285
Mualliflik huquqi egasi:
Лаборатория знаний
Audio
Средний рейтинг 4,7 на основе 13 оценок
Audio
Средний рейтинг 4,2 на основе 876 оценок
Matn, audio format mavjud
Средний рейтинг 4,8 на основе 1172 оценок
Audio
Средний рейтинг 4,8 на основе 5111 оценок
Matn
Средний рейтинг 4,9 на основе 160 оценок
Matn, audio format mavjud
Средний рейтинг 4,7 на основе 7055 оценок
Matn, audio format mavjud
Средний рейтинг 4,9 на основе 388 оценок
Matn
Средний рейтинг 5 на основе 53 оценок
Matn
Средний рейтинг 4,9 на основе 598 оценок